離子濺射儀 產(chǎn)品參數(shù)：

1.腔體尺寸：石英玻璃，直徑150mm*高度130mm

2.供電規(guī)格：AC220V，200w

3.適用靶材：貴金屬（AU、Pt、Pd）合金（AU-Pt、AU-Pd ）

4.樣品臺可調(diào)高度：20~50mm，可放置多個標(biāo)準(zhǔn)SEM樣品座

5.樣品臺尺寸：直徑65mm

6.極限真空：＜1Pa

7.樣品溫度：40-50℃

8.氣體流量：手動調(diào)節(jié)

9.控制：觸摸屏控制

10.外形尺寸：260mm*410mm*343mm（寬*深*高）

11.濺射電源：磁控濺射MAX 500V ，MAX 60mA

12.靶材尺寸：直徑57mm，厚度0.1~2mm

13.濺射時間：1~999s

14.抽氣時間：＜2~3min

離子濺射儀 產(chǎn)品簡介：

1、人性化設(shè)計，儀器操作簡單，一鍵鍍膜。

2、儀器小巧，靶材更換簡單，樣品臺高度調(diào)整方便。

3、鍍膜均勻細密，重復(fù)性好，適用于多種靶材。

4、特殊密封結(jié)構(gòu)，腔體不易損傷。

5、性能可靠，并設(shè)有多種安全保護機制。